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PLR3000系列0.2ppm高精度光纖激光尺是一種高精密度、高靈敏度、高效快速的先進位置檢測設備,10nm分辨率+0.2ppm線性精度,滿足納米級測量需求,是特別為超高精度位置反饋應用而設計,在微電子、微機械、微光學等現代超精密加工制造、光刻技術以及航空航天等高科技領域廣泛應用。
PLR3000系列系統級精度激光尺以激光干涉核心技術+硬核數據支撐,分辨率可達10nm,線性精度高達0.2ppm,為復雜工業場景提供精準、可靠的位置反饋與控制。在超精密加工、微電子制造、光刻技術、航空航天等高要求領域廣泛應用。
PLR3000多軸測量光纖激光尺基于激光干涉測量原理,分辨率可達10nm,線性精度高達0.2ppm,在微電子、微機械、微光學等現代超精密加工制造、光刻技術以及航空航天等高科技領域,提供精準、可靠的位置反饋與控制。
PLR3000非接觸高精度測量光纖激光尺用于對精度要求苛刻、環境復雜的場景。比傳統光柵精度高10倍,分辨率達原子層級(10nm=100個原子直徑!) PLR3000 系列光纖激光尺已在多個客戶端進行精度驗證:用差分干涉(DI)探頭對高精度納米位移臺進行閉環控制,在10mm行程內任意位置實現納米級位置控制精度。
PLR3000納米級精度激光尺測量儀是新一代高精度位置檢測設備,基于激光干涉測量原理,專為超精密加工、微電子制造、光刻技術、航空航天等高要求領域設計。
中圖儀器PLR3000高精準度激光尺品牌0.02ppm穩頻精度光纖激光尺突破性技術融合高穩定性氦氖激光光源與保偏光纖傳輸,支持單軸至多軸測量,分辨率可達10nm,線性精度高達0.2ppm,為復雜工業場景提供精準、可靠的位置反饋與控制。
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