中圖儀器PLR3000系列0.2ppm高精度光纖激光尺是一種高精密度、高靈敏度、高效快速的先進位置檢測設(shè)備，10nm分辨率+0.2ppm線性精度，滿足納米級測量需求，是特別為超高精度位置反饋應(yīng)用而設(shè)計，在微電子、微機械、微光學(xué)等現(xiàn)代超精密加工制造、光刻技術(shù)以及航空航天等高科技領(lǐng)域廣泛應(yīng)用。

一、產(chǎn)品功能

1. 納米級信號輸出：10nm高分辨率（支持外部拓展），正交數(shù)字/1Vpp正余弦信號雙輸出，適配各類控制器；

2. 全環(huán)境自適應(yīng)：一體化環(huán)境氣象站，實時補償環(huán)境參數(shù)對測量的影響，數(shù)據(jù)長期可靠；

3. 靈活安裝設(shè)計：激光主機與探頭分離，3m鎧裝光纖連接，遠(yuǎn)離熱源干擾，狹小空間也能便捷安裝；

4. 多維度測量支持：單軸/雙軸/三軸自由配置，搭配多種干涉探頭，輕松實現(xiàn)多自由度測量；

5. 雙重使用模式：既可作為激光干涉儀獨立測量，也可接入系統(tǒng)實現(xiàn)閉環(huán)位置反饋控制；

二、

功能特點

1.高分辨率數(shù)字正交信號輸出，分辨率達(dá)10nm（可外部拓展）。  

2.高測量精度，線性測量精度達(dá)0.2~0.5ppm。

3.高穩(wěn)頻精度，可達(dá)0.02~0.05ppm。

4.測量范圍大，最大量程可達(dá)4m（可拓展）。

5.激光發(fā)射裝置與干涉探頭分離，通過3m鎧裝光纖與電纜連接，可將激光尺主機遠(yuǎn)離被測量設(shè)備，便于安裝，同時還可避免主機散熱對測量通路的影響。

6.輸出正交數(shù)字信號或1Vpp正余弦信號，可以適用于不同的控制器。

7.體積小巧，適合狹小空間安裝，可最大限度降低阿貝誤差。 

8.即可作為激光干涉儀進行測量，也可用于閉環(huán)位置反饋控制。

9.多通道輸出，可輕松實現(xiàn)多軸同時測量及多自由度測量。

10.環(huán)境補償功能，一體化的環(huán)境氣象站自動監(jiān)視及更新環(huán)境氣象參數(shù)，實時補償溫度、空氣壓力和濕度對激光在空氣中空氣折射率的影響，保證測量的準(zhǔn)確性。

三、產(chǎn)品應(yīng)用

1.半導(dǎo)體制造：光刻機晶圓定位、精密工件臺反饋控制。

2.航空航天：發(fā)動機葉片形變檢測、高精度裝配校準(zhǔn)。

3.精密加工：數(shù)控機床多軸聯(lián)動位置反饋、微機械元件測量。

4.科研領(lǐng)域：光學(xué)平臺穩(wěn)定性監(jiān)測、超精密實驗設(shè)備控制。

相比傳統(tǒng)鋼帶尺或玻璃光柵，PLR3000系列0.2ppm高精度光纖激光尺具有更加精確的柵距和更高的分辨率，同時其熱源隔離設(shè)計，保證了更高的穩(wěn)定性，具有安裝快捷，易于準(zhǔn)直等特點，可根據(jù)用戶需求，配置單軸、雙軸以及三軸輸出，輕松實現(xiàn)多軸測量或多自由度測量。同時提供多種干涉探頭配置，用戶可根據(jù)實際需求選擇角錐棱鏡干涉儀、平面鏡干涉儀和差分干涉儀以及無內(nèi)置干涉鏡組的測量探頭，滿足用戶各種復(fù)雜場景應(yīng)用。

產(chǎn)品參數(shù)將根據(jù)技術(shù)迭代持續(xù)優(yōu)化，故本產(chǎn)品資料中有關(guān)內(nèi)容可能會根據(jù)實際情況隨時更新或修改，恕不另行通知，不便之處敬請諒解。