中圖儀器PLR3000系列系統(tǒng)級(jí)精度激光尺以激光干涉核心技術(shù)+硬核數(shù)據(jù)支撐，分辨率可達(dá)10nm，線性精度高達(dá)0.2ppm，為復(fù)雜工業(yè)場(chǎng)景提供精準(zhǔn)、可靠的位置反饋與控制。在超精密加工、微電子制造、光刻技術(shù)、航空航天等高要求領(lǐng)域廣泛應(yīng)用。

相比傳統(tǒng)鋼帶尺或玻璃光柵，光纖激光尺具有更加精確的柵距和更高的分辨率，同時(shí)其熱源隔離設(shè)計(jì)，保證了更高的穩(wěn)定性，具有安裝快捷，易于準(zhǔn)直等特點(diǎn)。

一、核心數(shù)據(jù)

1.精度天花板

10nm高分辨率（支持外部拓展），PRO版線性精度達(dá)0.2ppm（普通版0.5ppm），穩(wěn)頻精度低至0.02ppm，相當(dāng)于4米測(cè)量距離誤差僅0.8μm，滿足納米級(jí)生產(chǎn)檢測(cè)需求；

2.全場(chǎng)景適配

最大量程4m（可按需拓展），動(dòng)態(tài)測(cè)量速度支持2m/s，覆蓋從靜態(tài)實(shí)驗(yàn)室檢測(cè)到高速生產(chǎn)線聯(lián)動(dòng)的全場(chǎng)景；

3.環(huán)境抗干擾

一體化環(huán)境氣象站實(shí)時(shí)補(bǔ)償溫度（10-40℃）、氣壓（650-1150mbar）、濕度（0-95%無(wú)凝露）影響，實(shí)測(cè)在-10℃至45℃工況下，數(shù)據(jù)穩(wěn)定性仍保持±0.1ppm以內(nèi)；

4.靈活安裝設(shè)計(jì)

激光主機(jī)（2.8Kg）與探頭（460-500g）分離，3m鎧裝光纖連接（可定制長(zhǎng)度），狹小空間安裝無(wú)壓力，阿貝誤差降低60%以上。

三、核心優(yōu)勢(shì)

1. 精度碾壓傳統(tǒng)方案

柵距精度是玻璃光柵的3倍，分辨率比鋼帶尺高100倍，環(huán)境適應(yīng)性覆蓋傳統(tǒng)設(shè)備無(wú)法應(yīng)對(duì)的工況；

2. 靈活定制無(wú)門檻

支持單/雙/三軸輸出，可選差分/平面鏡/角錐棱鏡探頭（最高分辨率0.5nm），量程、線纜長(zhǎng)度均可定制，適配90%以上復(fù)雜場(chǎng)景；

3. 安裝使用省成本

體積小巧（探頭僅手掌大小），準(zhǔn)直調(diào)整角度達(dá)±1.5°，安裝調(diào)試時(shí)間縮短50%，無(wú)需專業(yè)技術(shù)團(tuán)隊(duì)即可完成部署；

4. 雙重使用價(jià)值

PLR3000系列系統(tǒng)級(jí)精度激光尺既可作為獨(dú)立激光干涉儀測(cè)量，也可接入系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)閉環(huán)位置反饋控制，一臺(tái)設(shè)備滿足多重需求。

四、應(yīng)用案例

1. 半導(dǎo)體制造：光刻機(jī)晶圓精準(zhǔn)定位、精密工件臺(tái)閉環(huán)反饋，助力芯片制造良率提升

2. 航空航天：發(fā)動(dòng)機(jī)葉片形變檢測(cè)、高精度裝配校準(zhǔn)，保障核心部件可靠性

3. 精密加工：數(shù)控機(jī)床多軸聯(lián)動(dòng)位置反饋、微機(jī)械元件測(cè)量，提升加工精度與效率

4. 科研領(lǐng)域：光學(xué)平臺(tái)穩(wěn)定性監(jiān)測(cè)、超精密實(shí)驗(yàn)設(shè)備控制，支撐前沿研究數(shù)據(jù)精準(zhǔn)度

注：產(chǎn)品參數(shù)將隨技術(shù)迭代優(yōu)化，相關(guān)內(nèi)容可能實(shí)時(shí)更新，恕不另行通知，敬請(qǐng)諒解。

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