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SuperViewW白光干涉技術光學3D輪廓儀具有測量精度高、操作便捷、功能齊全、測量參數涵蓋面廣的優點，測量單個精細器件的過程用時短，確保了高款率檢測。

中圖儀器4nm空間分辨率掃描電鏡具有出色的電子光學系統，優于4nm的空間分辨率，保證了高放大倍數下的清晰成像，能夠滿足納米尺度的形貌觀測需求。

NS系列薄膜臺階測量儀能夠測量納米到330μm或1050μm的臺階高度，可以準確測量蝕刻、濺射、SIMS、沉積、旋涂、CMP等工藝期間沉積或去除的材料。

中圖儀器CEM3000系列國產掃描顯微電鏡采用的鎢燈絲電子槍，發射電流大、穩定性好，以及對真空度要求不高。臺式電鏡無需占據大量空間來容納整個電鏡系統，這使其甚至能夠出現在用戶日常工作的桌面上，在用戶手邊實時呈現所得結果。

VT6000微米級粗糙度共聚焦顯微鏡結合高穩定性結構設計和3D重建算法，共同組成測量系統，主要用于對各種精密器件及材料表面進行微納米級測量。在相同物鏡放大的條件下，共焦顯微鏡所展示的圖像形態細節更清晰更微細，橫向分辨率更高。

CEM3000系列SEM掃描電子顯微鏡采用的鎢燈絲電子槍，發射電流大、穩定性好，以及對真空度要求不高。臺式電鏡無需占據大量空間來容納整個電鏡系統，這使其甚至能夠出現在用戶日常工作的桌面上，在用戶手邊實時呈現所得結果。