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中圖儀器CEM3000系列鎢燈絲桌面掃描電鏡高分辨率成像+多種成像參數可選,微尺度特征(如60nm銀線)清晰呈現,滿足材料分析、缺陷檢測等專業級需求。
中圖儀器NS系列膜層厚度臺階高度測量儀亞埃級精度,(LVDC傳感器核心)憑借亞埃級分辨率、多場景適配性與智能化操作,直擊半導體、光伏、MEMS等行業測量痛點,為材料研發、工藝優化、質量管控提供精準數據支撐。
中圖儀器sem掃描電鏡生產廠家CEM3000系列采用的鎢燈絲電子槍,發射電流大、穩定性好,以及對真空度要求不高。臺式電鏡無需占據大量空間來容納整個電鏡系統,這使其甚至能夠出現在用戶日常工作的桌面上,在用戶手邊實時呈現所得結果。
SuperViewW白光干涉技術光學3D輪廓儀具有測量精度高、操作便捷、功能齊全、測量參數涵蓋面廣的優點,測量單個精細器件的過程用時短,確保了高款率檢測。
中圖儀器4nm空間分辨率掃描電鏡具有出色的電子光學系統,優于4nm的空間分辨率,保證了高放大倍數下的清晰成像,能夠滿足納米尺度的形貌觀測需求。
NS系列薄膜臺階測量儀能夠測量納米到330μm或1050μm的臺階高度,可以準確測量蝕刻、濺射、SIMS、沉積、旋涂、CMP等工藝期間沉積或去除的材料。
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