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中圖儀器利用客戶現(xiàn)場一臺(tái)已經(jīng)廢棄的三坐標(biāo)平臺(tái)進(jìn)行氣浮隔振改造，在完成隔振模塊和WX-100白光干涉儀便攜式測頭的安裝后，客戶獲得了一臺(tái)具有超大尺寸平臺(tái)和負(fù)載的高精度白光干涉儀。

Super View白光干涉儀國內(nèi)品牌采用的測量方式是非接觸無損測量方式，避免了對被測物體造成劃痕和磨損，尤其適用于各種柔軟材料、易腐蝕材料和傳統(tǒng)方式無法檢測的表面形態(tài)測量和分析。集合了自身白光干涉三維重建技術(shù)和微納米顯微測量三維軟件，以及采用了集合相移法PSI的高精度和垂直法VSI大范圍兩大優(yōu)點(diǎn)的擴(kuò)展型相移算法EPSI，分辨率0.1μm，重復(fù)性0.1%，比肩進(jìn)口品牌，讓輪廓測量價(jià)格*為實(shí)惠。

中圖儀器白光干涉儀專用于非接觸式快速測量，具有三維形貌測量和圖像分析的功能。適合檢測的樣品按領(lǐng)域分為微納材料、超精密加工（機(jī)械、光學(xué)）、半導(dǎo)體封裝、消費(fèi)電子類這四個(gè)領(lǐng)域。

SuperView W3白光干涉儀可廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學(xué)加工、微納材料及制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天、工科研院所等領(lǐng)域中。可測各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等，

SuperView WX 100白光干涉測頭是一款非接觸式精密光學(xué)測頭，其基于白光干涉和精密掃描研制而成，主要由光學(xué)干涉系統(tǒng)和Z向掃描系統(tǒng)組成，具有體積小、重量輕、便攜的特點(diǎn)，能夠方便地搭載在各種具備XY水平位移架構(gòu)的平臺(tái)上，在產(chǎn)線上對器件表面進(jìn)行自動(dòng)化形式的測量，直接獲取與表面質(zhì)量相關(guān)的粗糙度、輪廓尺寸等2D/3D參數(shù)。