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NS系列5Å重復性臺階高度儀0.01埃分辨率，5Å超高精度精準測量微觀檢測微觀輪廓。搭載線性可變差動電容傳感器（LVDC），在半導體、光伏、MEMS等精密制造與科研領域一站式解決多場景微觀參數檢測需求。

NS系列薄膜臺階儀品牌亞埃級精度、多場景適配性與智能化操作，可精準測量臺階高度（納米至1050μm）、表面粗糙度（Ra、Rz等參數）、膜層厚度及應力分布，為材料研發、工藝優化與質量管控提供可靠數據支持。

中圖儀器NS系列膜層厚度臺階高度測量儀亞埃級精度，（LVDC傳感器核心）憑借亞埃級分辨率、多場景適配性與智能化操作，直擊半導體、光伏、MEMS等行業測量痛點，為材料研發、工藝優化、質量管控提供精準數據支撐。

NS系列薄膜臺階測量儀能夠測量納米到330μm或1050μm的臺階高度，可以準確測量蝕刻、濺射、SIMS、沉積、旋涂、CMP等工藝期間沉積或去除的材料。

中圖儀器臺階儀廠家NS系列通過2μm金剛石探針與LVDC傳感器的協同工作，結合亞埃級分辨率（5 Å）與智能化分析軟件，可精準測量臺階高度（納米至1050μm）、表面粗糙度（Ra、Rz等參數）、膜層厚度及應力分布，為材料研發、工藝優化與質量管控提供可靠數據支持。

中圖儀器臺階測量儀線性可變差動電容傳感器（LVDC），具有亞埃級分辨率，13μm量程下可達0.01埃。高信噪比和低線性誤差，使得產品能掃描到幾納米至幾百微米臺階的形貌特征。