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中圖儀器3D白光干涉表面形貌儀具有測量精度高、操作便捷、功能齊全、測量參數(shù)涵蓋面廣的優(yōu)點，測量單個精細(xì)器件的過程用時短，確保了高款率檢測。白光干涉儀的特殊光源模式，可以廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精細(xì)器件表面的測量。

CEM3000高精度掃描電子顯微鏡憑借其簡便的操作系統(tǒng)，讓復(fù)雜的掃描電鏡使用過程變得簡單快捷。在工業(yè)領(lǐng)域展現(xiàn)出廣泛的應(yīng)用價值，標(biāo)配有高性能二次電子探頭和多象限背散射探頭、并可選配能譜儀、低真空系統(tǒng)，能滿足用戶對多類型樣品的觀測需求，實現(xiàn)微觀的形貌和元素分析等。

VT6000精密共聚焦顯微鏡所展示的圖像形態(tài)細(xì)節(jié)更清晰更微細(xì)，橫向分辨率更高。它具有直觀測量的特點，能夠有效提高工作效率，更加快捷準(zhǔn)確地完成日常任務(wù)。借助共聚焦顯微鏡，能有效提高工作效率，實現(xiàn)更準(zhǔn)確的操作。

中圖儀器納米形貌觀測掃描電鏡用的鎢燈絲電子槍，發(fā)射電流大、穩(wěn)定性好，以及對真空度要求不高。緊湊的外型，能夠不受場地尺寸制約，真正做到了空間適用性，用戶甚至可以將其就近擺放在自己的桌面上。同時CEM3000也能根據(jù)用戶需求，輕松移機(jī)，一臺機(jī)器多處開花。

中圖儀器CEM3000高性能復(fù)合抗振系統(tǒng)掃描電鏡采用的鎢燈絲電子槍，發(fā)射電流大、穩(wěn)定性好，以及對真空度要求不高。標(biāo)配有高性能二次電子探頭和多象限背散射探頭、并可選配能譜儀、低真空系統(tǒng)，能滿足用戶對多類型樣品的觀測需求，實現(xiàn)微觀的形貌和元素分析等。

NS系列臺階高微觀形貌參數(shù)測量儀線性可變差動電容傳感器（LVDC），具有亞埃級分辨率，13μm量程下可達(dá)0.01埃。能夠測量納米到330μm或1050μm的臺階高度，可以準(zhǔn)確測量蝕刻、濺射、SIMS、沉積、旋涂、CMP等工藝期間沉積或去除的材料。