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中圖儀器3d光學檢測輪廓儀可測量程范圍內的三維尺寸，不過主要還是用于檢測樣品表面的粗糙度、臺階高、微觀幾何輪廓等參數。

中圖儀器SuperViewW1光學3d輪廓儀設備載物臺（XY）局部位移精度和線性精度為亞微米，Z向運動精度可達數納米，線性精度可達亞納米級別。

中圖儀器3d形貌輪廓儀是一款用于對各種精密器件及材料表面進行亞納米級數據處理與分析的光學測量儀器。可測各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等。

中圖儀器3d輪廓檢測儀讓輪廓測量價格變實惠，適用于各種產品、部件和材料表面的平面度、臺階高度、粗糙度、表面缺陷、磨損情況、孔隙間隙、腐蝕情況、波紋度、面形輪廓、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進行測量和分析。

W1光學輪廓儀是通過測量干涉條紋的變化來測量表面三維形貌，分辨率0.1μm，重復性0.1%，應用領域廣泛，操作簡便，可自動聚焦測量工件獲取2D，3D表面粗糙度、輪廓等一百余項參數。專用于精密零部件之重點部位表面粗糙度、微小形貌輪廓及尺寸的非接觸式快速測量。

3d光學輪廓測量儀可自動聚焦測量工件獲取2D，3D表面粗糙度、輪廓等一百余項參數，能達到微型范圍內重點部位的納米級粗糙度、輪廓等參數的測量。廣泛應用于如納米材料、航空航天、半導體等各類精密工件表面質量要求高的領域中。