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中圖儀器SuperViewW0.1nm級(jí)分辨率光學(xué)3D表面輪廓儀形貌重復(fù)性低至0.1nm，粗糙度RMS重復(fù)性0.005nm，臺(tái)階測(cè)量準(zhǔn)確度僅0.3%，搭配氣浮隔振底座與0.1nm分辨率環(huán)境噪聲評(píng)價(jià)，復(fù)雜車(chē)間環(huán)境也能穩(wěn)定輸出精準(zhǔn)數(shù)據(jù)。

中圖儀器白光干涉3D表面輪廓儀廣泛應(yīng)用于精密制造、電子半導(dǎo)體、汽車(chē)零部件、新材料、醫(yī)療器械等領(lǐng)域，對(duì)各種產(chǎn)品、部件和材料表面的粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺(tái)階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測(cè)量和分析。

中圖儀器光學(xué)表面輪廓儀具有測(cè)量精度高、操作便捷、功能齊全、測(cè)量參數(shù)涵蓋面廣的優(yōu)點(diǎn)，測(cè)量單個(gè)精細(xì)器件的過(guò)程用時(shí)短，確保了高款率檢測(cè)。

SuperViewW光學(xué)輪廓三維形貌儀具有測(cè)量精度高、操作便捷、功能齊全、測(cè)量參數(shù)涵蓋面廣的優(yōu)點(diǎn)，測(cè)量單個(gè)精細(xì)器件的過(guò)程用時(shí)短，確保了高款率檢測(cè)。

SuperViewW光學(xué)3D表面形貌量測(cè)輪廓儀基于白光干涉原理，以3D非接觸方式，測(cè)量分析樣品表面形貌的關(guān)鍵參數(shù)和尺寸。白光干涉儀的特殊光源模式，可以廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精細(xì)器件表面的測(cè)量。

中圖儀器微觀(guān)幾何光學(xué)3D輪廓儀具有測(cè)量精度高、操作便捷、功能齊全、測(cè)量參數(shù)涵蓋面廣的優(yōu)點(diǎn)，測(cè)量單個(gè)精細(xì)器件的過(guò)程用時(shí)短，確保了高款率檢測(cè)。白光干涉儀的特殊光源模式，可以廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精細(xì)器件表面的測(cè)量。