在光學精密加工領域,微納結構元件的三維形貌檢測是保障器件性能的重要環節。以微透鏡陣列、衍射光學元件為代表的精密光學元件,其特征尺寸已突破亞微米量級,對表面輪廓精度與結構面形誤差的檢測要求達到納米級分辨率。若加工過程中產生的邊緣塌陷、周期畸變...
一、基本原理相關問題1.激光干涉儀的工作原理是什么?-激光干涉儀主要是基于光的干涉原理。它通常使用氦-氖(He-Ne)激光器等作為光源,發出單一頻率的相干光。這束光被分光鏡分為兩束,一束作為參考光,另一束作為測量光。當測量光遇到被測物體發生...
原理與操作類-工作原理是什么:觸針式接觸測量原理,將很尖的觸針垂直安置在被測表面上作橫向移動,觸針隨被測表面輪廓起伏,其微小位移通過電路轉換、放大和運算處理,得到表面粗糙度和輪廓參數值。-如何進行測量操作:先將被測工件穩固放置在工作臺上,然...
1、工作原理方面-激光跟蹤儀主要是通過發射激光束來跟蹤目標。它有一個高精度的角度編碼器,能夠精確測量儀器的水平角和垂直角。同時,激光干涉測量系統可以測量從儀器到目標反射鏡的距離。當目標反射鏡移動時,激光跟蹤儀通過不斷地測量角度和距離的變化,...
原理相關1、白光干涉儀的基本原理是什么:白光干涉儀的基本原理是利用光學干涉原理。光源發出的光經過擴束準直后經分光棱鏡分成兩束,一束光經被測表面反射回來,另一束光經參考鏡反射,兩束反射光最終匯聚并發生干涉。由于兩束光相互干涉,在CCD相機感光...
影像儀是一種用于測量和檢測物體尺寸、形狀等多種特性的精密儀器。以下是關于影像儀的常見問題及回答:一、影像儀的工作原理是什么?影像儀主要是利用光學成像系統將物體的輪廓、表面特征等形成光學影像,然后通過CCD(電荷耦合器件)相機或者CMOS(互...
閃測儀是一種高精度的光學測量儀器,以下是一些關于閃測儀常見的問題及回答:一、閃測儀的工作原理是什么?閃測儀主要基于光學成像原理。它通過高分辨率的相機和特殊的光學系統對目標物體進行拍照。當光線照射到被測物體表面時,相機捕捉物體的輪廓和細節特征...
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