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VT6000材料3D形貌共聚焦測量顯微鏡基于光學共軛共焦原理，結合精密縱向掃描，通過系統軟件對器件表面3D圖像進行數據處理與分析，從而實現器件表面形貌3D測量。可測各類包括從光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等。

VT6000非接觸式3D共聚焦顯微系統以共聚焦技術為原理、結合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等，在相同物鏡放大的條件下，所展示的圖像形態細節更清晰更微細，橫向分辨率更高。

VT6000系列3D影像測量共聚焦顯微鏡擅長微納級粗糙輪廓的檢測，配備了真彩相機并提供還原的3D真彩圖像，對細節的展現纖毫畢現。

VT6000共聚焦3D成像檢測顯微鏡基于光學共軛共焦原理，結合精密縱向掃描，以在樣品表面進行快速點掃描并逐層獲取不同高度處清晰焦點并重建出3D真彩圖像，從而進行分析的精密光學儀器，一般用于略粗糙度的工件表面的微觀形貌檢測，可分析粗糙度、凹坑瑕疵、溝槽等參數。

VT6000國產共聚焦3D材料測量顯微鏡以共聚焦技術為原理，在相同物鏡放大的條件下，所展示的圖像形態細節更清晰更微細，橫向分辨率更高，能夠提供色彩斑斕的真彩圖像便于觀察。

VT6000超高分辨率共聚焦顯微鏡用于對各種精密器件及材料表面進行微納米級測量。共聚焦顯微鏡測量表面物理形貌，進行微納米尺度的三維形貌分析，如3D表面形貌、2D的縱深形貌、輪廓（縱深、寬度、曲率、角度）、表面粗糙度等。