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隨著白光干涉測量技術的發展和完善，白光干涉儀已經得到了廣泛的應用。在微電子、微機械、微光學等領域，中圖的光學式表面粗糙度輪廓儀可以提供更高精度的檢測需求。

中圖SuperView W1 3d光學輪廓儀檢測儀器設備的光學系統基于無限遠顯微鏡系統。通過干涉物鏡產生干涉條紋，使基本的光學顯微鏡系統變為白光干涉輪廓儀。各類干涉物鏡還決定了系統很多關鍵性能，如光學分辨率，工作距離，齊焦距離，坡度能力，視場范圍等等。中圖儀器提供豐富的各類物鏡選擇，以滿足最挑戰的測試需求。

SuperView W3 非接觸光學輪廓儀可對測試樣品的表面微納形貌特征進行測量和分析，具有測量準確度高、應用范圍廣、智能化水平高等特點。產品經深圳市計量質量檢測研究院計量校準，技術指標參數滿足相關標準要求。

中圖儀器光學3d表面輪廓儀能夠適用于從光滑到粗糙等各種精密器件的表面質量檢測，不管是光滑或粗糙、平面或異形結構，當測量超出適配鏡頭下的單視場區域時，都可以采用自動拼接，根據不同表面特點進行重建算法的切換，無論何種形貌，都可生成“天衣無縫”的3D全景。

3D形貌地圖配合色譜圖，非常直觀；但橫向測試范圍，縱向高度尺度也很關鍵。中圖儀器研發生產的SuperView W1光學3d輪廓儀用于測量精密工件的微納米三維形貌一鍵測量，自動拼接功能能夠快速實現大區域、高精度的測量。

中圖儀器SuperView W1光學輪廓儀是一款以白光干涉技術為原理，用于進行亞納米級測量的檢測儀器。對工件表面進行非接觸式掃描同時建立表面3D圖像，通過系統軟件的數據處理與分析，獲取反映器件表面質量的2D、3D參數，從而實現器件表面微納米三維形貌的一鍵測量。