中圖SuperView W1非接觸3d光學(xué)輪廓儀，可測(cè)各類從低反射率到高反射率、超光滑到粗糙的物體表面，從納米到微米級(jí)別工件的微觀幾何輪廓、粗糙度、平整度、曲率等，提供依據(jù)ISO/ASME/EUR/GBT四大國內(nèi)外標(biāo)準(zhǔn)共計(jì)300余種2D、3D參數(shù)作為評(píng)價(jià)標(biāo)準(zhǔn)。

產(chǎn)品參數(shù)

非接觸3d光學(xué)輪廓儀以白光干涉技術(shù)為原理，對(duì)各種精密器件及材料表面進(jìn)行亞納米級(jí)測(cè)量。它結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對(duì)器件表面進(jìn)行非接觸式掃描，從而實(shí)現(xiàn)器件表面形貌3D測(cè)量。

工作原理

光源發(fā)出的光經(jīng)過擴(kuò)束準(zhǔn)直后經(jīng)分光棱鏡后分成兩束，一束經(jīng)被測(cè)表面反射回來，另外一束光經(jīng)參考鏡反射，兩束反射光匯聚并發(fā)生干涉，顯微鏡將被測(cè)表面的形貌特征轉(zhuǎn)化為干涉條紋信號(hào)，通過測(cè)量干涉條紋的變化來測(cè)量表面三維形貌。

相比接觸式測(cè)量方法具有測(cè)量速度慢、易劃傷測(cè)量表面和單一的光學(xué)非接觸測(cè)量方法難以完成對(duì)大面形或曲率較大的高反射曲面零件三維形貌的高精度測(cè)量的缺點(diǎn)，SuperView W1 3d光學(xué)輪廓儀實(shí)現(xiàn)了超精密加工高反射曲面三維形貌的高精度非接觸測(cè)量。

應(yīng)用示例

產(chǎn)品性能特征

1、高精度、高重復(fù)性

光學(xué)干涉技術(shù)、精密Z向掃描模塊和優(yōu)異的3D重建算法組成測(cè)量系統(tǒng)，以及能有效隔離頻率2Hz以上絕大部分震動(dòng)的隔振系統(tǒng)，能保證儀器測(cè)量效果精度高、測(cè)量重復(fù)性高。

2、一體化操作的測(cè)量分析軟件

1）可視化窗口，便于用戶實(shí)時(shí)觀察掃描過程；

2）測(cè)量與分析同界面操作，無須切換，測(cè)量數(shù)據(jù)自動(dòng)統(tǒng)計(jì)，實(shí)現(xiàn)了快速批量測(cè)量的功能；

3）幾何分析、粗糙度分析、結(jié)構(gòu)分析、頻率分析、功能分析五大功能模塊齊全；

4）結(jié)合自定義分析模板的自動(dòng)化測(cè)量功能，可自動(dòng)完成多區(qū)域的測(cè)量與分析過程；

5）一鍵分析、多文件分析，自由組合分析項(xiàng)保存為分析模板，批量樣品一鍵分析，并提供數(shù)據(jù)分析與統(tǒng)計(jì)圖表功能；

6）可測(cè)依據(jù)ISO/ASME/EUR/GBT等標(biāo)準(zhǔn)的多達(dá)300余種2D、3D參數(shù)。

3、精密操縱手柄

集成X、Y、Z三個(gè)方向位移調(diào)整功能的操縱手柄，可快速完成載物臺(tái)平移、Z向聚焦、找條紋等測(cè)量前工作。

4、雙重防撞保護(hù)措施

初級(jí)的軟件ZSTOP設(shè)置Z向位移下限位進(jìn)行防撞保護(hù)外，和Z軸上的電子傳感器，保護(hù)儀器，降低人為操作風(fēng)險(xiǎn)。

5、雙通道氣浮隔振系統(tǒng)

既可以接入客戶現(xiàn)場(chǎng)的穩(wěn)定氣源也可以接入標(biāo)配空壓機(jī)，在無外接氣源的條件下也可穩(wěn)定工作。